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可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機 工業烘箱
可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機 工業烘箱

可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性.

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HMDS鍍膜機
HMDS鍍膜機

HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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